EUV 이전에 신기했던 반도체 공정 - CMP(웨이퍼 평탄화)
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Lv.1 15소년우주표류기 (211.♡.39.61)

2026년 4월 4일 PM 01:01

조회 1,036 공감 0

평평한 웨이퍼를 화학은 물론 기계적으로 깍아 평평하게 만든다는게 가능할까 했었습니다. 불산 슬러리와 초미세 패드를 이용해 미세소자 층을 평평하게 한다는게 이해가 안갈 정도로 신기했었습니다.

단, 불산은 뼈의 칼슘과 반응하여 계속해서 뚫고 들어가므로 위험합니다. 접촉 즉시 오염된 옷을 벗고 흐르는 물로 15~20분 이상 세척하며, 칼슘 성분(글루콘산칼슘 젤)을 도포하고 즉시 응급실로 이송해야 합니다.

댓글 (6)

  • 삶은다모앙

    삶은다모앙 Lv.1

    04.04 · 61.♡.223.158

    초당 1+-1 옹스트롱 가공속도를 자랑하지요

  • 셀빅아이

    셀빅아이 Lv.1

    04.04 · 125.♡.200.218

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  • 쩝쩝박사

    쩝쩝박사 Lv.1

    04.04 · 118.♡.66.216

    실제로는 저정도 무너진건 아니고 데포지션, 에칭 하면서 생긴 표면 굴곡을 깎아내는 역할이에요.

    저 정도 무너졌으면 버려야죠

  • 구소

    구소 Lv.1

    04.04 · 182.♡.150.7

    뭐 그렇게 따지자면, 천체 망원경은 몇 미터의 유리판을 곡면으로 가공하는데 오차가 100나노 이하이니..

  • 울아이아빠 Lv.1

    04.04 · 223.♡.79.100

    그림1은 정말 그림이고요 CMP후에 저렇게 안나옵니다. 그것도 CMP 한번이 아니라 레이어 별로 최적화 해서 여러번 해야 합니다

  • Chemchem93

    Chemchem93 Lv.1

    04.04 · 1.♡.162.187

    동탄 거주자이자 화학 전공자입니다. 출퇴근길에 삼성사업장 부근 지나다보면 불산 황산 IPA등 화학물질 운반차량 무지 다닙니다. 볼때마다 진짜 엄청 써대는구나 생각하곤합니다.조심해야죠..

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