[트렌드포스] 중국산 EUV 장비, 3분기 시험 생산 루머… ASML에 악재?

China’s Homegrown EUV Machines Rumored for Q3 Trial Production, Spelling Trouble for ASML

- 2025.3.10

중국이 자체 개발한 EUV 노광 장비를 화웨이 둥관 시설에서 테스트 중이며, 2025년 3분기 시험 생산, 2026년 양산을 목표로 한다.

ASML의 LPP 방식과 달리, 중국의 LDP 방식은 단순한 설계와 높은 에너지 효율을 갖추고 있어 비용 절감 효과가 기대된다.

미국의 EUV 수출 금지로 중국 반도체 산업이 DUV 기술에 의존했지만, 새로운 EUV 시스템이 개발되면서 기술적 돌파구를 마련할 가능성이 커졌다.